Radiant薄膜橫向壓電系數(shù)e31測(cè)試裝置采用懸臂梁法，結(jié)合Radiant Precision系統(tǒng)可精確地確定壓電薄膜系數(shù)e31、d31和e33，重新加載一致性達(dá)到2%。

Radiant的懸臂梁法測(cè)薄膜橫向壓電系數(shù)e31測(cè)試裝置可測(cè)量懸臂上沉積的壓電薄膜的系數(shù)。通過(guò)向壓電薄膜施加電壓使基材向不同方向彎曲。由配置的光電傳感器捕獲懸臂頂端的運(yùn)動(dòng)，該測(cè)試模組可容納72mm和43mm懸臂。

Radiant薄膜橫向壓電系數(shù)e31測(cè)試裝置和Radiant Precision測(cè)試系統(tǒng)可以進(jìn)行三種類型的測(cè)量。

1)確定懸臂梁的針尖位移作關(guān)于電壓的函數(shù)

2)可以執(zhí)行的第二種類型的測(cè)試是直接d31測(cè)量，這是通過(guò)懸臂梁施加力記錄壓電電容器的電荷量實(shí)現(xiàn)。

3)如果使用叉指電極，則測(cè)量e33

準(zhǔn)確性

可復(fù)制到1%，卸載和重新加載準(zhǔn)確度達(dá)2%。

可重復(fù)性

重新加載相同樣本時(shí)沒(méi)有差異。

操作簡(jiǎn)單

無(wú)須復(fù)雜調(diào)試，操作簡(jiǎn)單

多功能

薄膜或散裝、生產(chǎn)或研究。

靈活

薄膜壓電測(cè)試束將適應(yīng)

各種樣本幾何圖形。

薄膜壓電測(cè)試模組的測(cè)量包括但不限于下列測(cè)試：

e31、d31、e33與厚度

位移與電壓

壓電疲勞

壓電老化

成分比較

過(guò)程監(jiān)控

多重繪制和平均

薄膜壓電測(cè)試套件包括：

l  薄膜壓電測(cè)試夾具

特殊設(shè)計(jì)的薄膜測(cè)試夾具

l  壓電位移傳感器

Radiant的壓電光子技術(shù)規(guī)格：

測(cè)量范圍6mm，精度1微米。

壓電位移傳感器模擬輸出校準(zhǔn)為5微米/V（或=0.2V/微米）。

當(dāng)壓電位移傳感器模擬輸出連接到Radiant Precision測(cè)量系統(tǒng)的傳感器端口后，輸出電壓由ADC測(cè)量，其分辨率為0.3mV/步。

l  *的壓電軟件

*的壓電軟件對(duì)壓電薄膜或壓電MEMS自動(dòng)執(zhí)行測(cè)試并提供清晰的位移結(jié)果；

測(cè)量軟件可以配置為不同的測(cè)量值，只需按一下按鈕即可生成多個(gè)繪圖。

可以對(duì)測(cè)試臺(tái)進(jìn)行多次測(cè)量以修正漂移值，然后平均/平滑測(cè)量值，以糾正過(guò)高和過(guò)低頻噪聲。